製品情報【熱意識(ねついしき) 新熱製品の数々に込められた「お客様へのお役立ちを果たしたい」の総意。】

【半導体・液晶用ヒーター】ヒーターの専門メーカーだからこそ実現した多種多様のヒーターを組み込んだ製品をご提案いたします。

半導体・液晶用ヒーターの特徴

  • プレート材質、加工方法、温度、容量などにより当社オリジナルヒーターを選定することが可能。
    (ニクロム線タイプ、エッチング箔タイプ、シーズヒータータイプ、 カートリッジヒータータイプ、コールドエンドヒータータイプ、マイクロヒータータイプ等)
  • 各種ヒーターは電気的に絶縁されており、直接加熱が可能。
  • 各種ヒーターは振動、衝撃に優れ、発熱線が酸化されにくいために長寿命です。
  • 表面処理を行うことでガスによる耐腐食性に優れています。

半導体・液晶用ヒーターの用途

  • 半導体装置各種成膜装置用ヒーター
  • 液晶装置各種成膜装置用ヒーター
  • 各種プロセス熱源用ヒーター
図:熱解析イメージ

熱解析による専用設計により、
温度分布を均一にするための
ヒーター配置をご提案いたします。

※熱解析は別途有料となります。

「半導体・液晶用ヒーター」製品カタログダウンロードはこちら

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